国家知识产权局信息显示,深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“载台调平装置、载台的调平方法和晶圆载台装置”的专利,公开号CN121209586A,申请日期为2024年6月。专利摘要显示,本申请实施例公开了一种载台调平装置、载台的调平方法和晶圆载台装置,载台调平装置包括控制器、电机承载座和电机,电机中的第一电机、第二电机和第三电机的一侧用于安装载台,第一电机、第二电机和第三电机的另一侧固定在电机承载座上方,且三个电机不共线。控制器获取载台的俯仰角和滚转角,并获取第一电机、第二电机和第三电机在以电机承载座的中心点为原点的坐标系中的坐标。控制器响应于俯仰角的绝对值大于或者等于第一阈值,或者滚转角的绝对值大于或者等于第二阈值,基于载台的俯仰角、滚转角和任一电机的坐标,控制任一电机垂直向上或者垂直